Зауэрри теңдеуі - Sauerbrey equation

The Зауэрри теңдеуі неміс жасаған Гюнтер Сауэрри 1959 жылы докторлық диссертациямен жұмыс істеген кезде Берлин техникалық университеті, Германия. Бұл а тербеліс жиілігінің өзгеруін корреляциялау әдісі пьезоэлектрлік кристалл оған салынған массамен. Ол бір уақытта кристалды осциллятор тізбегінің жиілігін анықтайтын компоненті ретінде пайдалану арқылы сипаттамалық жиілікті және оның өзгеруін өлшеу әдісін жасады. Оның әдісі негізгі құрал ретінде қолданыла береді кварц кристалды микробаланс (QCM) жиілікті массаға айналдыруға арналған тәжірибелер және барлық қолданбаларда жарамды.

Теңдеу шөгінді массаны негізгі кварцтың қалыңдығының кеңеюі сияқты қарастыру арқылы алынады.[1][2] Осыған байланысты массаның жиілікке дейінгі корреляциясы (Сауэрбрей теңдеуімен анықталған) электродтар геометриясына тәуелді емес. Бұл калибровкасыз жаппай анықтауға мүмкіндік беріп, қондырғыларды шығындар мен уақытты инвестициялау тұрғысынан қалаған тиімділікке ие.

Зауэрри теңдеуі келесідей анықталады:

қайда:

Резонанстық жиілік негізгі режимнің (Гц)
- жиіліктің қалыпқа өзгеруі (Гц)
- жаппай өзгеріс (ж)
Пьезоэлектрлік белсенді кристалды аймақ (Электродтар арасындағы аудан, см2)
Тығыздығы кварц ( = 2,648 г / см3)
Ығысу модулі кесілген кристаллға арналған кварц ( = 2.947x1011 g · см−1· С−2)

Нормаланған жиілік - бұл режимнің номиналды жиіліктің ауысуы, оның режим нөміріне бөлінген (бағдарламалық жасақтаманың көпшілігі әдепкі бойынша жиіліктің ауысуын қалыпқа келтіреді). Фильм қалыңдықтың кеңеюі ретінде қарастырылғандықтан, Сауэррри теңдеуі келесі үш шарт орындалатын жүйелерге ғана қатысты: шөгінді масса қатаң болуы керек, шөгінді масса біркелкі бөлініп, жиіліктің өзгеруі керек < 0.05.[3]

Егер жиіліктің өзгеруі 5% -дан көп болса, яғни > 0,05, массаның өзгеруін анықтау үшін Z-матч әдісін қолдану керек.[2]Z-матч әдісінің формуласы:[2]

2-теңдеу - Z-матч әдісі

- Жүктелген кристалдың жиілігі (Гц)
- түсірілмеген кристалдың жиілігі, яғни резонанстық жиілік (Гц)
- AT кесілген кварц кристалы үшін жиілік тұрақтысы (1.668x1013Hz · Å)
- жаппай өзгеріс (ж)
- Пьезоэлектрлік белсенді кристалды аймақ (Электродтар арасындағы аудан, см2)
- кварцтың тығыздығы ( = 2,648 г / см3)
- фильмнің Z-факторы
- Фильмнің тығыздығы (өзгереді: өлшем бірлігі г / см3)
- Кварцтың ығысу модулі ( = 2.947x1011 g · см−1· С−2)
- Фильмнің ығысу модулі (өзгереді: өлшем бірліктері g · см−1· С−2)

Шектеулер

Сауэрбрей теңдеуі ауадағы тербеліс үшін жасалған және тек кристаллға бекітілген қатты массаларға қатысты. Кварц кристаллының микробалансын өлшеуді сұйықтықта жүргізуге болатындығы көрсетілген, бұл жағдайда а тұтқырлық сәйкес резонанстық жиіліктің төмендеуі байқалады:

қайда сұйықтықтың тығыздығы, бұл сұйықтықтың тұтқырлығы, және режим нөмірі.[4]

Әдебиеттер тізімі

  1. ^ Сауэрри, Гюнтер Ханс (1959 ж. Сәуір) [1959-02-21]. «Verwendung von Schwingquarzen zur Wägung dünner Schichten und zur Mikrowägung» (PDF). Zeitschrift für Physik (неміс тілінде). Шпрингер-Верлаг. 155 (2): 206–222. Бибкод:1959ZPhy..155..206S. дои:10.1007 / BF01337937. ISSN  0044-3328. S2CID  122855173. Мұрағатталды (PDF) түпнұсқасынан 2019-02-26. Алынған 2019-02-26. (NB. Бұл 1957 жылы қазан айында Гейдельбергтегі Physikertagung-та ішінара ұсынылды.)
  2. ^ а б c QCM100 - Микробаланстың кварцтық теориясы және калибрлеу теориясы (PDF), Стэнфордтың зерттеу жүйелері / Lambda Photometrics Limited, мұрағатталды (PDF) түпнұсқасынан 2019-02-27, алынды 2019-02-27
  3. ^ Шривастава, Асеем Кумар; Сактивел, Паланикумаран (қаңтар-ақпан 2001). «Плазмалық күл құралдарындағы атомдық оттегін сипаттауға арналған кварц-кристалды микробалансты зерттеу». Вакуумдық ғылым және технологиялар журналы А: Вакуум, беттер және фильмдер. 19 (1): 97–100. Бибкод:2001JVSTA..19 ... 97S. дои:10.1116/1.1335681. Алынған 2019-02-27.
  4. ^ Каназава, К.Кейджи; Гордон II, Джозеф Г. (шілде 1985). «Кварц микробалансының сұйықтықпен жанасу жиілігі». Аналитикалық химия. 57 (8): 1770–1771. дои:10.1021 / ac00285a062.