Консольді жақсартылған фотоакустикалық спектроскопия - Cantilever enhanced photoacoustic spectroscopy

Консольді жақсартылған фотоакустикалық спектроскопия аз мөлшерін анықтауға мүмкіндік береді газдар бұл көптеген қосымшаларда маңызды. Фотоакустикалық спектроскопия оптикалық анықтаудың ең сезімтал схемаларының бірі болып табылады. Ол газды анықтауға негізделген акустикалық толқын жарықтың ортаға сіңуінен пайда болатын генерацияланған. Дәстүрлі мембраналық микрофондардың сезімталдығы электр шуымен және жоғары оптикалық қуат деңгейінде механикалық датчиктің орын ауыстыруының сызықтықсыздығымен шектеледі. Кәдімгі мембраналық микрофондарды сезімталдықты арттыру үшін оптикалық өлшенген микромеханикалық консольдармен ауыстыруға болады.

Сипаттамалары

Жаңа MEMS консольді тәсілі фотоакустикалық жасушадағы қысымның өзгеруін анықтайды.[1] Жоғары сезімталдыққа фотоакустикалық спектроскопияда әдеттегідей қолданылатын мембранаға қарағанда жүз есе жоғары сезімтал консольды қысым датчигін қолдану арқылы қол жеткізіледі. Лазерге негізделген оқу интерферометрі ұңғыманың астынан орын ауыстыруды дәл өлшеуге қабілетті пикометр дейін миллиметр.[2]

Технология

Айналасындағы газдың қысымының өзгеруіне байланысты өте жұқа консоль бөлігі икемді есік тәрізді қозғалады. Консольдің орын ауыстыруы дәл интерферометриялық оқу жүйесімен өлшенеді. Осылайша «тыныс алу әсерін» болдырмауға болады. Тыныс алу эффектісі деп аталатын сыйымдылық өлшеу принципінде пайда болады, бұл кезде басқа электрод сенсордың қозғалысын төмендетеді және динамикалық диапазонды шектейді.

Консоль сенсоры

Консоль сенсоры арнайы кристалды SOI-кремнийінен арнайы жасалған құрғақ күйдіру өте тұрақты және берік компонентке әкелетін процесс; сондықтан сенсор температура мен ылғалдылықтың өзгеруіне іс жүзінде толықтай иммунитет береді. Сонымен қатар, сенсор тозудан зардап шекпейді. Датчик пен оқуды температура бойынша оқшаулауға болады, бұл қыздырылған газ ұяшығына мүмкіндік береді, бұл жоғары температурада химиялық талдауды қажет ететін қосымшаларға мүмкіндік береді, мысалы химиялық шығарындыларды бақылау және процесті бақылау.[2]

Қолданбалар

Консольді жақсартылған фотоакустиканы өлшеу технологиясын қолдануға болады, мысалы. ғылыми, өндірістік, экологиялық, қауіпсіздік және қауіпсіздік салаларында газдарды, сұйықтықтарды және қатты материалдарды анықтау және талдау кезінде.[3]

Әдебиеттер тізімі

  1. ^ Кауппинен, Джирки; Уилкен, Клаус; Кауппинен, Исмо; Коскинен, Веса (2004). «Фотоакустикалық анықтаумен газды талдау кезінде жоғары сезімталдық». Микрохимиялық журнал. 76 (1–2): 151–159. дои:10.1016 / j.microc.2003.11.007.
  2. ^ а б «Фотоакустикалық газды анықтауға арналған оптикалық микрофон». Гасера. Алынған 2016-06-22.
  3. ^ «Фотоакустикалық спектроскопия - Гасера». Гасера. Алынған 2016-06-22.